나노프로브 분석장비 사이언스21 입니다.

나노프로브 분석장비

(주)한국아이티에스에서 제공한 Imina Technologies의 '나노프로브 분석장비'의 제품 특징, 제품 사양은 다음과 같다.

Imina Technologies의 Nanoprobing Solutions는 나노~마이크로 스케일에서 전기적 특성 분석과 In-situ 반도체/배터리/소재 분석을 위한 종합 솔루션을 제공한다.

제품 특징

•반도체, 디스플레이, 배터리 등 전기적 특성 분석/전기적 불량 분석이 필요한 제품에 0.02nm의 Position Resolution으로 정밀하게 contact이 가능하다.

ex) 반도체 Metal line 오픈/쇼트 분석, 국소 부위에서의 I-V 커브 분석, 반도체 불량 위치 특정

제품 사양

•최소 0.02nm의 Position Resolution

•최소 3nm의 Probe tip을 이용하여 전기적 특성 및 불량 분석을 위한 결함 위치 파악

•4축 자유도를 지닌 microBot(miBot)을 최대 8개까지 독립적으로 사용 가능

•SEM의 영구 변형 없이 모든 종류의 SEM/FIB/Dual Beam에서 사용 가능

•EBIC/EBAC/EBIRCh 등 다양한 전자빔 기반 Application 사용 가능

'나노프로브 분석장비'에 대한 상세한 내용은 (주)한국아이티에스를 통하여 확인 가능하다.

Reference(참고자료)

Nanoprobing Solutions 카다로그

Maker(제조사): Imina Technologies

Country of Origin(원산지): Swiss

Data Services(자료제공): (주)한국아이티에스

<이 기사는 사이언스21 매거진 2026년 7월호에 게재 되었습니다.>

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