HyperPureX Xion 초순수 내의 극미량 원소 제거 장치 사이언스21 입니다.

HyperPureX Xion 초순수 내의 극미량 원소 제거 장치

코웍사이언스에서 제공한 HyperPureX의 'HyperPureX Xion 초순수 내의 극미량 원소 제거 장치'의 제품 특징, 제품 사양 그리고 제품 구성은 다음과 같다.

Low Boron, ICP UP Filter로 초순수를 한번 더 정제하여 Boron과 Silica의 저감에 특화 된 UPW 제조 장치이다.

제품 특징

•SEMI F57 Compliance

•ISO 9001, ISO 14001 Compliance

•Low Boron, ICP UP Filter

•0.1 μm 필터 카트리지

제품 사양

•Dispensing rate: 분당 1.5L

•Resistivity(25℃): 18.2MΩ.cm

•Total Organic Carbon(TOC): ≤ 5 ppb

•Dimensions(H x W x D): Host: 273 x 315 x 595mm / Stand: 130 x 255 x 439mm

•Weight: Host: 10.5Kg / Stand: 0.5Kg

제품 구성

•본체, Water stent, Low boron 카트리지, 마이크로필터, 풋 스위치

'HyperPureX Xion 초순수 내의 극미량 원소 제거 장치'에 대한 상세한 내용은 코웍사이언스를 통하여 확인 가능하다.

Reference(참고자료)

HyperPureX Xion Catalogue

Maker(제조사): HyperPureX

Country of Origin(원산지): China

Data Services(자료제공): 코웍사이언스

<이 기사는 사이언스21 매거진 2026년 7월호에 게재 되었습니다.>

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