• HyperPureX Xion 초순수 내의 극미량 원소 제거 장치
  • Element Purification Unit

  • 코웍사이언스에서 제공한 HyperPureX의 'HyperPureX Xion 초순수 내의 극미량 원소 제거 장치'의 제품 특징, 제품 사양 그리고 제품 구성은 다음과 같다.

    Low Boron, ICP UP Filter로 초순수를 한번 더 정제하여 Boron과 Silica의 저감에 특화 된 UPW 제조 장치이다.

    제품 특징
    •SEMI F57 Compliance
    •ISO 9001, ISO 14001 Compliance
    •Low Boron, ICP UP Filter
    •0.1 μm 필터 카트리지

    제품 사양
    •Dispensing rate: 분당 1.5L
    •Resistivity(25℃): 18.2MΩ.cm
    •Total Organic Carbon(TOC): ≤ 5 ppb
    •Dimensions(H x W x D): Host: 273 x 315 x 595mm / Stand: 130 x 255 x 439mm
    •Weight: Host: 10.5Kg / Stand: 0.5Kg

    제품 구성
    •본체, Water stent, Low boron 카트리지, 마이크로필터, 풋 스위치

    'HyperPureX Xion 초순수 내의 극미량 원소 제거 장치'에 대한 상세한 내용은 코웍사이언스를 통하여 확인 가능하다.

    Reference(참고자료)
    HyperPureX Xion Catalogue

    Maker(제조사): HyperPureX
    Country of Origin(원산지): China 
    Data Services(자료제공): 코웍사이언스

    <이 기사는 사이언스21 매거진 2026년 7월호에 게재 되었습니다.>
  • 글쓴날 : [26-07-03 10:16]
    • 최진민 기자[reporter2@s21.co.kr]
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